隨著(zhù)半導體工藝向高集成度、多元化應用發(fā)展，單一溫控模式不能滿(mǎn)足復雜場(chǎng)景需求。多通道獨立控溫Chiller通過(guò)創(chuàng )新技術(shù)架構，實(shí)現同一設備內不同通道的溫度獨立控制，為半導體生產(chǎn)測試環(huán)節提供溫控解決方案。
一、多通道獨立控溫Chiller的應用必要性
半導體產(chǎn)業(yè)鏈涵蓋芯片制造、器件封裝、性能測試等多個(gè)環(huán)節，各環(huán)節對溫度的需求存在差異。存儲芯片測試需模擬高低溫循環(huán)場(chǎng)景，而電子器件封裝可能需要恒溫環(huán)境保障工藝穩定。傳統單通道溫控設備無(wú)法同時(shí)處理多種溫度需求，導致測試效率低下。多通道獨立控溫 Chiller 則可針對不同測試單元或生產(chǎn)模塊，單獨設定溫度參數，支持并行作業(yè)，既滿(mǎn)足多樣化溫控需求，又提升設備利用率。
二、多通道獨立控溫的技術(shù)實(shí)現路徑
1、硬件架構創(chuàng )新
多通道獨立控溫Chiller采用模塊化設計，每個(gè)通道配備獨立的循環(huán)系統與換熱組件。以直冷型Chiller為例，其制冷劑輸出系統可針對性地為不同目標單元換熱，確保各通道溫度互不干擾。
2、控制系統升級
多通道獨立控溫Chiller實(shí)現對各通道溫度的調控。每個(gè)通道的溫度參數可獨立設置、實(shí)時(shí)監控，滿(mǎn)足不同半導體工藝對溫度精度的嚴苛要求。同時(shí)，操作界面支持多通道溫度曲線(xiàn)同步顯示與數據導出。
三、多通道獨立控溫 Chiller 的典型應用場(chǎng)景
1、在存儲芯片可靠性測試中，需同時(shí)對多個(gè)芯片樣本進(jìn)行高低溫循環(huán)測試。多通道獨立控溫Chiller可針對不同芯片型號，設置差異化的溫度循環(huán)方案，各通道獨立運行，模擬芯片實(shí)際應用中的溫度應力，快速篩選出性能不穩定的產(chǎn)品。
2、半導體器件封裝、鍍膜等生產(chǎn)環(huán)節對溫度要求各異。多通道獨立控溫 Chiller 可同時(shí)為不同生產(chǎn)線(xiàn)提供適配的溫度環(huán)境，實(shí)現同一設備支撐多元生產(chǎn)場(chǎng)景。
多通道獨立控溫Chiller通過(guò)整合溫控技術(shù)與靈活架構設計，提升半導體生產(chǎn)測試的效率與精度。隨著(zhù)半導體工藝的不斷進(jìn)步和應用場(chǎng)景的日益復雜化，多通道獨立控溫Chiller將成為半導體行業(yè)溫控領(lǐng)域的重要力量。
多通道獨?控溫，可以具備單獨的溫度范圍、冷卻加熱能?、導熱介質(zhì)流量等，根據所需的溫度范圍選擇采?蒸汽壓縮制冷，或者采?ETCU?壓縮機換熱系統，系統可通?膨脹罐、冷凝器、冷卻?系統等，可以有效減少設備尺?，減少操作步驟。
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