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半導體變頻水冷機±0.5℃滿(mǎn)足光刻工藝要求

更新時(shí)間：2025-03-25

價(jià)格：面議

品牌：冠亞恒溫

型號： FLTZ-002

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產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品關(guān)鍵詞：半導體變頻水冷機±,chiller,精密溫控冷水機,高低溫測試機,熱流儀

是否為生產(chǎn)商：是

最低訂購量： 1

供貨能力： 100

付款方式：依據合同為準

交貨周期： 45個(gè)工作日

主要銷(xiāo)售市場(chǎng)：中國,北美洲,中/南美洲,西歐,亞洲,非洲

產(chǎn)品描述：

原理：

半導體溫控設備Chiller（高精度冷熱循環(huán)器），適用于集成電路、半導體顯示等行業(yè)，溫控設備可在工藝制程中精準控制反應腔室溫度，是一種用于半導體制造過(guò)程中對設備或工藝進(jìn)行冷卻的裝置，其工作原理是利用制冷循環(huán)和熱交換原理，通過(guò)控制循環(huán)液的溫度、流量和壓力，帶走半導體工藝設備產(chǎn)生的熱量，從而實(shí)現精確的溫度控制，確保半導體制造過(guò)程的穩定性和產(chǎn)品質(zhì)量。

產(chǎn)品優(yōu)勢：

半導體Chiller高精度冷熱循環(huán)器按照不同產(chǎn)品類(lèi)型，包括單通道和雙通道，主要有FLTZ變頻單通道系列（-100℃~+90℃）、FLTZ變頻多通道系列（-45℃~+90℃）、無(wú)壓縮機系列ETCU換熱控溫單元（+5℃-+90℃）

主要特征：

多通道獨?控溫，可以具備單獨的溫度范圍、冷卻加熱能?、導熱介質(zhì)流量等，根據所需的溫度范圍選擇采?蒸汽壓縮制冷，或者采?ETCU?壓縮機換熱系統，系統可通?膨脹罐、冷凝器、冷卻?系統等，可以有效減少設備尺?，減少操作步驟。

AI產(chǎn)品描述：

以下內容為AI生成，僅供參考

半導體變頻水冷機是一款高精度溫控設備，專(zhuān)為光刻工藝等精密制造領(lǐng)域設計。其核心功能是通過(guò)變頻技術(shù)調節制冷功率，實(shí)現±0.5℃的精準溫度控制，確保工藝環(huán)境的穩定性。適用于半導體、激光器、實(shí)驗室等對溫度敏感的場(chǎng)景。使用時(shí)需注意水質(zhì)清潔，定期維護冷凝器和過(guò)濾系統，避免雜質(zhì)影響制冷效率。設備運行時(shí)需確保通風(fēng)良好，避免過(guò)熱。該產(chǎn)品具有節能、低噪音、高效冷卻等特點(diǎn)，是精密制造和科研領(lǐng)域的關(guān)鍵設備。

無(wú)錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司

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