在半導(dǎo)體芯片制造、生物制藥及特種化工領(lǐng)域,納米級(jí)污染物可導(dǎo)致產(chǎn)品良率暴跌或安全風(fēng)險(xiǎn)。面對(duì)強(qiáng)腐蝕介質(zhì)、高溫滅菌與超凈要求的復(fù)合挑戰(zhàn),PFA折疊濾芯憑借革命性材質(zhì)與精密結(jié)構(gòu),成為保障工藝純凈度的終極防線。
顛覆性材料特性
PFA(全氟烷氧基樹脂)賦予濾芯不可替代的核心優(yōu)勢:
全域化學(xué)耐受:耐受氫氟酸、熱濃硫酸、強(qiáng)堿及3000余種有機(jī)溶劑,徹底杜絕溶出污染風(fēng)險(xiǎn)
超痕量析出控制:金屬離子析出量<0.1 ppb,TOC溶出<5 μg/L,滿足半導(dǎo)體超純水18.2 MΩ·cm嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)
極端溫度適應(yīng):-200℃至+260℃穩(wěn)定運(yùn)行,兼容SIP在線蒸汽滅菌(121℃×60min)及深冷工藝
永久疏水特性:接觸角>110°,抑制污染物吸附,降低交叉污染概率
折疊結(jié)構(gòu)工程突破
星形精密褶皺設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)效能躍升:
通量倍增:有效過濾面積達(dá)傳統(tǒng)濾芯260%(1.8㎡/10"),初始通量提升300%(≥800 LPM·m2)
深度攔截:多層復(fù)合結(jié)構(gòu)(PFA膜+聚丙烯支撐層)實(shí)現(xiàn)0.03μm精度顆粒截留
超長壽命:納污容量≥500g/㎡,較常規(guī)濾芯延長服役周期3倍
關(guān)鍵應(yīng)用場景
半導(dǎo)體制造
超純水終端拋光:保障UPW系統(tǒng)>18.2 MΩ·cm水質(zhì)
光刻膠精密過濾:清除≥0.05μm顆粒,降低晶圓缺陷率
CMP漿料凈化:攔截研磨劑團(tuán)聚體,保障表面平整度
生物制藥核心環(huán)節(jié)
疫苗原液除菌:0.1μm孔徑實(shí)現(xiàn)LRV≥7除菌保障
單抗制劑終端過濾:零溶出特性保護(hù)蛋白活性
注射用水精制:內(nèi)毒素控制<0.001 EU/mL
特種化工
電子級(jí)氫氟酸過濾:耐受40%濃度HF溶液
液晶材料凈化:確保面板顯示均勻性
鋰電電解液精制:清除金屬雜質(zhì)預(yù)防微短路